真空泵是指運(yùn)用機(jī)械,、物理,、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。

簡單而言,，真空泵是用各種各樣方式在某一密閉空間中改進(jìn),、造成和保持真空泵的設(shè)備。在泵腔內(nèi)產(chǎn)生根據(jù)轉(zhuǎn)動造成體積的轉(zhuǎn)變 而將氣體排出來泵外,，主要是在吸氣過程中,，吸氣腔體積擴(kuò)大，真空值減少,，將器皿內(nèi)氣體吸進(jìn)泵腔,，在排氣管全過程中體積縮小，氣體壓強(qiáng)擴(kuò)大,，最后根據(jù)骨架密封將吸進(jìn)的氣體排出來泵外,。

按真空泵的原理，真空泵大部分能夠分成二種種類,，即氣體收集泵和氣體傳送泵,。

特點

(1)在較寬的工作壓力范疇內(nèi)有很大的泵效；

(2)轉(zhuǎn)子具備優(yōu)良的幾何圖形對稱,，故震動小，運(yùn)行穩(wěn)定,。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和外殼間均有空隙,，無需潤化，磨擦損害小,，可大幅度降低推動輸出功率,，進(jìn)而可完成較高速旋轉(zhuǎn)；

(3)泵腔內(nèi)不用用食油密封性和潤化,，可降低油蒸汽對超濾裝置的環(huán)境污染,；

(4)泵腔內(nèi)無縮小，無自動排氣閥。構(gòu)造簡易,、緊密,，對被抽氣體中的塵土和水蒸氣不比較敏感；

(5)縮小較為低,，對氡氣抽真空實際效果差,；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難,。